数字红外烘干机控制器
别再凭猜测来控制温度了:为何数字式红外控制器如此重要 如果您想打造“智能”生产线,就不能仅仅更换旧的加热器就算完事。这就好比给汽车换了新引擎,却仍然使用有问题的方向盘。您需要的是一个能与PLC协同工作的系统。
采用数字式红外控制器后,就不用再采取“设置好后就不管了”的方式。相反,您可以实时了解设备...
高效晶圆干燥灯管
在芯片制造过程中,如果在软烘或硬烘阶段温度出现0.1℃的波动,那可绝不是数据表上可以忽略的小误差——这会导致产品合格率下降。一旦温度均匀性受到破坏,光阻层的厚度就会迅速发生变化,从而增加废品率和返工成本。高效能的晶圆干燥器能够将温度控制在理想范围内。
我们使用的则是专为实现亚毫米级温度控制而设计的...
近红外 NIR 晶圆干燥机
在光刻车间,无论您的烘烤曲线是否已调校,生产线始终保持运行。软烘烤漂移表现为CD散射。硬烘烤的不均匀性会破坏图案的完整性,而晶圆则会因为每一个热控偏差而付出代价。
我们构建的系统及其重要性
我们围绕近红外辐射加热设计了NIR晶圆干燥器,调节能量直接传递到光刻胶和基板。其效果是在晶圆级别保持...
电池隔膜膜干燥设备厂
在一个24/7运转的晶圆厂,生产线不会为任何人停机。电池隔膜膜干燥过程中的一次热偏差不仅会影响产能,还可能破坏光刻胶的附着力,导致溶剂残留,并影响整个光刻集群的良率。
**我们设计这款干燥机的核心是热控纪律性。**中波红外发射器阵列能够快速且非接触地加热晶圆,保持晶圆级温度均匀性在±0.1℃以内。...