标签为“手套箱”的页面如下 手套箱红外加热元件 停止浪费热量:为何采用镀金红外元件才是明智之举 如果你曾经在手套箱内对晶圆进行加热处理,那你一定明白其中的烦恼。虽然你向灯管输入了大量的能量,但其中很大一部分能量却白白浪费掉了——这些能量会击中腔室壁,让本不必加热的空气变热,最终消失不见。 普通的红外灯会将热量向四周扩散,也就是360度范围内均匀... Read more...
手套箱红外加热元件 停止浪费热量:为何采用镀金红外元件才是明智之举 如果你曾经在手套箱内对晶圆进行加热处理,那你一定明白其中的烦恼。虽然你向灯管输入了大量的能量,但其中很大一部分能量却白白浪费掉了——这些能量会击中腔室壁,让本不必加热的空气变热,最终消失不见。 普通的红外灯会将热量向四周扩散,也就是360度范围内均匀... Read more...