用于半导体加热器的热电偶
如何让100级洁净室始终保持清洁状态?
在加热半导体晶圆时,温度控制只是其中的一半工作。在100级洁净室中,哪怕只有一粒微小的灰尘,都可能毁掉整批芯片。这真是个噩梦。因此,我们放弃了金属外壳的加热器——因为它们容易剥落,还会释放出大量有害气体。取而代之的是高纯度的石英红外灯。
为什么选择石英?
我...
半导体洁净室推车式加热器
当化学品具有挥发性时,如何确保安全? 说实话,在无尘室中加热半导体设备是一项极其危险的工作。周围都是易燃的清洁剂,一旦出现一点火花或灯光故障,就可能引发灾难。 正因如此,我们不会简单地把灯装进盒子里就完事。我们会为红外线加热器配备特殊的“防护层”,以防止设备发生火灾。 关键在于密封性。 我们不会直...
用于半导体加热器的特氟龙线
如何保持100级洁净室的清洁状态
如果你正在运营100级洁净室,那么你肯定知道其中的重要性。哪怕只有一粒微小的灰尘或一片金属碎屑,都可能毁掉一切。在半导体加热过程中,问题通常出在加热元件上——它往往是整个系统中污染最严重的地方。
我们找到了解决办法:通过将高纯度石英红外灯与特制的特氟龙导线相结合,...
节能型半导体加热器
让红外加热技术在智能工厂中真正发挥作用
如果您正在规划一座工业4.0时代的工厂,那么您一定已经意识到,传统的加热方式已经不再适用了。不能简单地往车间里灌入热量,然后寄希望于一切能顺利解决。我们需要的是更加精确的加热方式。
这时,红外加热技术就派上用场了。与其让整个空间都变热,不如将热量精确地施加在...
半导体检测工具加热器
在检测过程中,0.5°C的温差就足以决定一个晶圆是否合格。晶圆的温度会影响信号的质量、背景噪声,进而决定光阻在镜头下的表现。如果加热器无法维持稳定的温度,那么不仅会导致产品合格率下降,还会打乱整个生产计划。
我们在加热器中采用了什么技术? 我们选用了短波红外元件以及石英基材料构成的散热结构,以此确...