팹 램프용 교체 필라멘트
생산 현장에서는 포토레지스트의 건조 성능을 나노미터 단위로 측정합니다. 소프트 베이크나 하드 베이크 과정에서 약간의 온도 변화만 있어도 치명적인 결과를 초래할 수 있습니다. 또한, 불순물이 발생하면 많은 웨이퍼가 버려질 수 있습니다. 램프 모듈에 있는 필라멘트는 단순...
탄소 섬유 적외선 램프 제작
팹 플로어에서 베이크 온도가 0.5°C 변동하면 치수 편차가 나노미터 단위로 이동합니다. 소프트 베이크와 하드 베이크는 단순한 열 처리 단계가 아니라 치수적 약속입니다. 램프가 성능을 발휘하지 못하면 로트가 비용을 부담합니다.
기술적으로 중요한 점
탄소 섬유 적외선...