근적외선(NIR) 웨이퍼 건조기

리소그래피 작업장에서 베이크 프로파일이 조정되었든 그렇지 않든 라인은 계속해서 움직입니다. 소프트 베이크 드리프트는 CD 분산으로 나타나며, 하드 베이크 비균일성은 패턴 일관성을 파괴하고 웨이퍼는 온도 제어가 벗어나는 모든 도에 대해 손해를 입게 됩니다. 개발 내용...