웨이퍼용 고정밀 적외선 센서

유동성이 높은 화학물질 주변에서 IR 램프를 안전하게 사용하는 방법 화학적 청소 과정에서 실리콘 웨이퍼를 가열하는 것은 매우 섬세한 작업입니다. 정확한 양의 IR 에너지가 필요하지만, 그 작업은 가연성 용매들과 바로 인접한 곳에서 이루어집니다. 이는 재앙을 초래할 수...