팹 램프용 교체 필라멘트

생산 현장에서는 포토레지스트의 건조 성능을 나노미터 단위로 측정합니다. 소프트 베이크나 하드 베이크 과정에서 약간의 온도 변화만 있어도 치명적인 결과를 초래할 수 있습니다. 또한, 불순물이 발생하면 많은 웨이퍼가 버려질 수 있습니다. 램프 모듈에 있는 필라멘트는 단순...