반도체 검사 공정용 히터

검사 과정에서 0.5°C의 온도 변동은 제품이 검사를 통과하는지 아닌지를 결정하는 요소입니다. 웨이퍼의 온도는 신호의 형태를 결정하고, 배경값을 설정하며, 렌즈 아래에서 포토레지스트가 어떻게 반응할지를 결정합니다. 만약 히터가 온도를 일정하게 유지하지 못한다면, 단순...