서론 우리는 미국과 일본의 유명 브랜드들과 경쟁할 수 있도록 이 웨이퍼 건조용 램프를 개발했습니다. 성능은 같지만, 그에 비해 훨씬 저렴한 가격입니다. 핵심은 간단합니다. 공장에서 필요한 열과 신뢰성을 제공하면서도 비용을 줄이는 것입니다. 이 제품은 실제로 기계를 운...

제조 현장에서는, 최종 세척 과정을 거친 웨이퍼에는 단 1마이크론의 오점도 허용되지 않습니다. 대류식 오븐은 기판 전체에 걸쳐 온도가 균일해지도록 노력하지만, 이러한 과정 자체가 생산성에 영향을 미칩니다. 반면, 적외선 건조 방식은 그러한 문제를 해결해줍니다. 기술적...

팹 내에서는 웨이퍼 전체에 걸쳐 0.1°C 정도의 온도 차이만 있어도 웨이퍼의 선폭 제어가 불가능해집니다. 소프트 베이크 및 하드 베이크 과정에서 포토레지스트는 그러한 온도 변화에 신경 쓰지 않습니다. 결국 온도 컨트롤은 엄격하게 관리되거나, 아니면 추측에 의존할 수...

제조 현장에서는 알다시피, 상황이 그렇습니다. 소프트 베이크 과정에서 1°C만큼의 온도 변화라도 있으면, 치명적인 오차가 발생할 수 있으며, 이는 몇 시간에 걸친 리소그래피 작업을 수포로 돌릴 수도 있습니다. 웨이퍼를 가열하는 것은 단순히 온도를 높이는 것이 아니라,...

리소그래피 공정에서는 폴리이미드 층이 고도로 복잡한 회로 구조를 유지하는 데 중요한 역할을 합니다. 하드 베이크 과정에서 온도에 문제가 생기면 모든 것이 망가질 수 있습니다. 우리는 이러한 위험을 줄이기 위해 특별한 폴리이미드 경화용 열 처리 시스템을 개발했습니다....