균일 가열 웨이퍼 건조기

팹 내에서는 웨이퍼 전체에 걸쳐 0.1°C 정도의 온도 차이만 있어도 웨이퍼의 선폭 제어가 불가능해집니다. 소프트 베이크 및 하드 베이크 과정에서 포토레지스트는 그러한 온도 변화에 신경 쓰지 않습니다. 결국 온도 컨트롤은 엄격하게 관리되거나, 아니면 추측에 의존할 수...