웨이퍼 건조를 위한 적외선 방식과 대류 방식의 비교

제조 현장에서는, 최종 세척 과정을 거친 웨이퍼에는 단 1마이크론의 오점도 허용되지 않습니다. 대류식 오븐은 기판 전체에 걸쳐 온도가 균일해지도록 노력하지만, 이러한 과정 자체가 생산성에 영향을 미칩니다. 반면, 적외선 건조 방식은 그러한 문제를 해결해줍니다. 기술적...