웨이퍼 수분 제거 히터 램프

현장 상황 웨이퍼 표면의 수분은 가만히 있지 않는다. 포토레지스트 프로파일을 왜곡시키고, 중요 치수를 벗어나게 만들며, 재작업이 불가능한 결함을 일으킨다. 리소그래피 및 포토레지스트 공정에서 소프트 베이크와 하드 베이크는 단순한 열처리 사이클이 아니라 수분 제거 과정...