글로브박스 적외선 히터 소자

열을 낭비하지 마세요: 왜 금 코팅 처리된 IR 소자가 효과적인지 만약 가글박스 내부에서 웨이퍼를 가열해본 적이 있다면, 그 고충을 잘 알 것입니다. 램프에 에너지를 공급하지만, 그 에너지의 상당 부분이 그냥 사라져버립니다. 에너지는 챔버의 벽에 부딪혀서, 실제로 가...