웨이퍼 처리 장비용 온도 센서

웨이퍼 처리 장비에서 정확한 열화상 데이터를 얻는 방법 더 스마트한 반도체 제조 공정을 추구한다면, 구식의 접촉형 온도계로는 더 이상 충분하지 않다는 것을 알고 있을 것입니다. 그런 도구들은 반응 속도가 느리며, 웨이퍼에 직접 손을 대는 것은 위험한 행동입니다. 그래...