화학적 세척을 마친 후 MEMS 센서 웨이퍼를 건조할 때는 강력한 열이 필요합니다. 하지만 문제는, 가연성 용매가 있는 곳 근처에서 이러한 작업을 하는 것은 사실상 폭발을 초래할 수 있다는 점입니다. 정말 위험한 상황입니다. 그래서 우리는 특수한 적외선 램프를 사용합...

왜 팹에서는 적외선 가열이 공기 가열보다 더 효과적인가? 웨이퍼를 건조시키는 방법에 대해 알아보겠습니다. 기존의 방식들은 공기 순환을 이용합니다. 공기를 가열하여 웨이퍼를 따뜻하게 만든 뒤, 그대로 기다려야 합니다. 이 방식은 매우 느립니다. 고압 반도체 생산 환경에...

서론 우리는 미국과 일본의 유명 브랜드들과 경쟁할 수 있도록 이 웨이퍼 건조용 램프를 개발했습니다. 성능은 같지만, 그에 비해 훨씬 저렴한 가격입니다. 핵심은 간단합니다. 공장에서 필요한 열과 신뢰성을 제공하면서도 비용을 줄이는 것입니다. 이 제품은 실제로 기계를 운...

생산 현장에서는 램프의 수명이 다해 건조기가 작동을 멈추게 되고, 300mm 웨이퍼 위에 물자국이 생깁니다. 소프트 베이크 과정에서도 문제가 발생하고, 입자 수도 증가하여 전체적으로 위험한 상황이 됩니다. 따라서 성능이 우수하면서도 비용이 합리적인 램프가 필요합니다....

제조 현장에서는, 최종 세척 과정을 거친 웨이퍼에는 단 1마이크론의 오점도 허용되지 않습니다. 대류식 오븐은 기판 전체에 걸쳐 온도가 균일해지도록 노력하지만, 이러한 과정 자체가 생산성에 영향을 미칩니다. 반면, 적외선 건조 방식은 그러한 문제를 해결해줍니다. 기술적...