포토레지스트 베이킹 램프

웨이퍼 플로어에서는 방법을 잘 알고 있습니다. 소프트 베이크 프로파일에서 0.5도만 드리프트하면 중요한 치수 편차로 인해 전체 배치를 스크랩해야 할 수 있습니다. 우리는 이 변수를 제거하기 위해 포토레지스트 베이킹 램프를 제작했습니다. 이 램프는 저항이 필요로 하는...