반도체 히터용 써모커플
클래스 100급 청정실을 계속 깨끗하게 유지하는 방법
반도체 웨이퍼를 가열할 때 온도 조절이 전부는 아닙니다. 클래스 100급 환경에서는 아주 작은 먼지 한 알만 있어도 전체 칩들이 망가질 수 있습니다. 정말 끔찍한 상황입니다. 그래서 우리는 금속으로 된 히터를 사용...
반도체 청정실용 트롤리 히터
화학물질이 위험해질 때 안전을 지키는 방법
솔직히 말해서, 청정실에서 반도체 제조 장비를 가열하는 것은 매우 위험한 작업입니다. 주변에 가연성 세정제가 있으니, 사고가 발생할 가능성도 높습니다. 아주 작은 스파크나, 잘못된 시점에 전등이 고장 나면 큰 재앙이 발생할...
반도체 히터용 테플론 와이어
클래스 100급 청정실을 항상 깨끗하게 유지하는 방법
만약 여러분이 클래스 100급 청정실을 운영하고 있다면, 그 어려움을 잘 알고 있을 것입니다. 아주 작은 먼지나 금속 조각 하나만으로도 모든 것이 망가질 수 있습니다. 반도체 가열과 관련해서는, 가열 요소가 문제의...
에너지 절약형 반도체 히터
스마트 팩토리에서 적외선 가열 기술을 효과적으로 활용하는 방법
산업 4.0형 공장을 구축하려는 경우, 이제는 기존의 가열 방식으로는 충분하지 않다는 것을 알고 있을 것입니다. 그냥 열을 방 안에 넣어두고 결과를 기다릴 수는 없습니다. 보다 정밀한 제어가 필요합니다....
반도체 검사 공정용 히터
검사 과정에서 0.5°C의 온도 변동은 제품이 검사를 통과하는지 아닌지를 결정하는 요소입니다. 웨이퍼의 온도는 신호의 형태를 결정하고, 배경값을 설정하며, 렌즈 아래에서 포토레지스트가 어떻게 반응할지를 결정합니다. 만약 히터가 온도를 일정하게 유지하지 못한다면, 단순...