공장 건조 공정의 에너지 감사

왜 팹에서는 적외선 가열이 공기 가열보다 더 효과적인가? 웨이퍼를 건조시키는 방법에 대해 알아보겠습니다. 기존의 방식들은 공기 순환을 이용합니다. 공기를 가열하여 웨이퍼를 따뜻하게 만든 뒤, 그대로 기다려야 합니다. 이 방식은 매우 느립니다. 고압 반도체 생산 환경에...