고효율 웨이퍼 건조용 불꽃

제조 현장에서는, 소프트 베이크나 하드 베이크 과정 중에 0.1°C라는 미세한 온도 변동도 결코 무시할 수 없습니다. 이는 생산 효율 저하로 이어집니다. 열 균일성이 떨어지면 포토레지스트의 성능이 급격히 변하고, 그 결과 웨이퍼는 폐기되거나 재가공되어야 합니다. 고효...