웨이퍼 처리에 적외선을 사용하는 이유는 무엇인가요

라인에서는 그 과정을 직접 볼 수 있습니다. 약간의 온도 상승이 발생하면 포토레지스트의 프로파일도 즉시 변합니다. 그 후에는 오류가 발생하고, 웨이퍼가 에칭 공정에 들어가기 전에 이미 폐기되는 경우가 많습니다. 그래서 적외선 가열은 단순히 선호되는 방식이 아니라, 공...