유동성이 높은 화학물질 주변에서 IR 램프를 안전하게 사용하는 방법
화학적 청소 과정에서 실리콘 웨이퍼를 가열하는 것은 매우 섬세한 작업입니다. 정확한 양의 IR 에너지가 필요하지만, 그 작업은 가연성 용매들과 바로 인접한 곳에서 이루어집니다. 이는 재앙을 초래할 수 있는 상황입니다. 조금만 스파크가 발생하거나 석영관에 균열이 생기면, 큰 문제가 생길 수 있습니다.
우리는 그런 위험을 감수하지 않습니다. 오픈형 구조 대신, 모든 부품을 특수한 밀봉 처리된 케이스 안에 넣습니다.
밀봉의 비결
이것은 마치 보호용 껍데기와 같은 역할을 합니다. IR 램프는 맞춤형 석영이나 사파이어로 만들어진 케이스 안에 들어 있으며, 이 케이스가 가열 요소와 위험한 화학물질들 사이의 장벽이 됩니다.
고온 진공 밀봉 기술을 사용하여 가연성 가스가 들어오는 것을 막습니다. 만약 석영관에 문제가 생긴다 해도, 이 케이스 덕분에 필라멘트가 주변 공기와 접촉하지 않습니다.
또한, 빠른 가열과 냉각 과정 때문에, 특수한 합금을 사용하여 밀봉을 유지합니다. 이렇게 하면 유리가 반복적인 열 변화로 인해 깨지는 것을 방지할 수 있습니다.
열과 부식으로부터 보호하기
만약 밀봉이 실패한다면, 화학액 속에서의 안정성도 사라집니다. 이를 방지하기 위해 케이스의 외부에 내화성 코팅을 입힙니다.
왜냐하면 부식성 물질들은 석영을 손상시키기 때문입니다. 그러면 미세한 균열이 생기고, 그 균열로 인해 램프가 조기에 고장 납니다. 아무도 작업 중에 램프를 교체하고 싶어 하지 않습니다.
문제는, 이 케이스가 열을 가두는 경향이 있다는 것입니다. 램프가 열린 공간에 있지 않기 때문에 더 높은 온도에서 작동합니다. 이를 해결하기 위해 우리는 일반적으로 와트수를 조절하거나 냉각 공기의 흐름을 늘립니다. 이렇게 하면 필라멘트가 과열되는 것을 방지할 수 있습니다.
위험한 환경에서도 안전하게 사용하기
와이어 연결 부분에서 많은 사람들이 실수를 합니다. 그냥 전원을 연결해서는 안 됩니다.
우리는 폭발 방지형 케이블과 접지 처리된 케이스를 사용하여 정전기가 축적되는 것을 막습니다. 이렇게 하면 전기 아크가 발생하는 것을 방지할 수 있습니다.
결국, 위험한 점화원일 수 있는 것을 안전한 도구로 만드는 것입니다. 웨이퍼를 가열하는 데 필요한 열을 얻으면서도, 공장이 폭발하지 않을 것이라는 확신을 가질 수 있습니다.