晶圆加热的安全距离
在智能工厂中正确使用红外加热技术 打造智能工厂并非只是简单地在生产线上安装机器人，然后就称之为“工业4.0”。实际上，关键在于如何有效控制热量。
如果仍然依赖传统的电阻式加热方式，那只会让事情变得更加复杂。我们发现，高效的红外线加热系统才是最佳选择。为什么呢？因为这种加热方式无需直接接触晶圆，从而...
用于晶圆的精密红外传感器
在易挥发化学品周围安全使用红外灯 在化学清洗过程中对硅片进行加热是一项需要精确控制的操作。虽然需要精确的红外能量，但操作地点却是在易燃溶剂旁边。这无疑是一颗定时炸弹。哪怕只有一个小火花或石英管出现一点裂缝，都可能引发灾难性的后果。 我们不会冒这样的风险。因此，我们不会使用开放式设计，而是将所有部件...
MEMS传感器晶圆干燥加热器
在用化学试剂清洗MEMS传感器晶圆之后，需要用高温来将其烘干。但问题在于：如果在易燃溶剂附近进行这种操作，那就很容易引发爆炸。这真是令人担忧的情况。
因此，我们使用专门的红外灯。这类灯具就是为应对这种危险环境而设计的，这样就能在不引发灾难的情况下完成烘干工作。
确保密封性 大多数红外灯的电气触点都...
晶圆固化灯用反光器
如何防止晶圆固化灯爆炸 在处理晶圆固化过程时，控制好温度至关重要。不过，我们在制造反射镜和灯具组件时，关注的不仅仅是表面的光滑度。我们更关心的是高压灯与接地外壳之间的电气间隙。
为何要特别重视高压耐压测试 我们不会只进行抽样检测。每支灯管在离开工厂之前，都必须经过完整的耐压测试和绝缘电阻测试。我们...
晶圆加工设备用温度传感器
在晶圆加工设备中正确运用热成像技术 如果您希望实现更智能的工厂运作，那么您肯定已经意识到，传统的接触式温度计已不再适用。它们反应速度太慢，而且，直接接触晶圆其实存在很大的风险。
因此，我们转而使用高速红外传感器。这样，我们就可以在不接触晶圆表面的情况下获得实时的温度分布图。无需担心污染或机械应力问...
批发式晶圆干燥灯
简介 我们开发这款批量晶圆干燥灯，就是为了与那些来自美国和日本的知名品牌一较高下——其性能可与那些高端产品相媲美，但却没有那么高的价格。其核心理念很简单：为操作设备的人提供稳定且可靠的加热效果，同时降低成本。这是一款专为实际操作设备的人设计的解决方案。您需要的是可靠的热源，而非空头承诺。
技术细节...
高效晶圆干燥灯管
在芯片制造过程中，如果在软烘或硬烘阶段温度出现0.1℃的波动，那可绝不是数据表上可以忽略的小误差——这会导致产品合格率下降。一旦温度均匀性受到破坏，光阻层的厚度就会迅速发生变化，从而增加废品率和返工成本。高效能的晶圆干燥器能够将温度控制在理想范围内。
我们使用的则是专为实现亚毫米级温度控制而设计的...
便宜的晶圆干燥灯管
在生产线中，如果干燥灯的灯泡失效，那么300毫米的晶圆上就会出现水印。此外，低温烘烤过程也可能会受到影响，颗粒数量也会增加，整个生产流程都会面临风险。因此，需要一种能够保持清洁、持续正常工作的干燥灯，同时还要具备合理的成本，避免影响生产效率。
关键特性 我们根据实际生产过程中的热需求来设计这种灯泡...
为何在晶圆加工中使用红外线
在生产线上，你可以实时观察到整个过程。当温度上升2摄氏度时，光刻胶的厚度就会立刻发生变化。随后就会出现各种误差，导致废品率上升，而产品甚至还没进入蚀刻工序。正因为如此，红外加热并非一种可选的加热方式，而是一种必要的工艺控制手段。
红外加热的精准度：亚毫米级的均匀性与重复性 红外加热能够将辐射能量直...
晶圆干燥：红外加热与对流加热的比较
在晶圆加工车间里，刚完成最终清洗的晶圆上绝不能有哪怕微米级的瑕疵。在对流式烘干设备中，需要不断调整温度分布，而这一过程会直接影响产品的良率。而红外烘干技术则改变了这一状况。
从技术层面来看，真正重要的是什么？ 红外光直接照射在晶圆表面，从而加热晶圆，而不会让热量扩散到腔室内的空气中。这样一来，晶圆...
均匀加热晶圆干燥机
在芯片制造过程中，如果晶圆表面的某个区域的温度高出0.1°C，就足以破坏对芯片线宽的控制。在软烘和硬烘过程中，光刻胶的固化效果并不受人为控制的影响——要么温度能被精确控制，要么只能依赖猜测。而猜测往往会导致问题出现：残留溶剂、表面杂质以及结构缺陷。这些都会使得芯片成为废品。
从技术层面来看，什么才...
高品质晶圆加热灯
在晶圆加工过程中，温度的微小变化都会对晶圆的尺寸产生影响。哪怕只是1°C的温度波动，都可能让晶圆的尺寸发生纳米级的变化，而这足以让数小时的光刻工作付诸东流。因此，晶圆加热并不仅仅是让晶圆变热那么简单，而是需要实现精确且均匀的控温，同时还要确保每一层材料的热平衡。
关键在于精确控温 我们使用的晶圆加...
晶圆制造中的聚酰亚胺固化工艺
在光刻工艺中，聚酰亚胺层的作用是确保各种复杂的电路结构能够稳定地结合在一起。如果在高温固化过程中出现温度波动，那么整个电路结构就会毁掉。我们设计的聚酰亚胺固化热处理系统，就是为了消除这种风险。
关键点： 在整个固化过程中，我们需要保持晶圆表面的温度均匀性在±0.1℃范围内，从低温预处理到最终固化阶...
近红外 NIR 晶圆干燥机
在光刻车间，无论您的烘烤曲线是否已调校，生产线始终保持运行。软烘烤漂移表现为CD散射。硬烘烤的不均匀性会破坏图案的完整性，而晶圆则会因为每一个热控偏差而付出代价。
我们构建的系统及其重要性
我们围绕近红外辐射加热设计了NIR晶圆干燥器，调节能量直接传递到光刻胶和基板。其效果是在晶圆级别保持...
晶圆除湿加热灯
在晶圆制造车间，晶圆表面的水分不会静止不动。它会影响光刻胶的轮廓，扰乱关键尺寸，并产生无法返工的缺陷。在光刻和光刻胶处理过程中，软烘和硬烘不仅仅是加热循环——它们是水分抽除过程，同时决定良率。
关键要点
我们设计的晶圆水分去除加热灯采用石英封装的短波红外（SWIR）卤素元件，针对快速、局部加热进行...