在智能工厂中正确使用红外加热技术
打造智能工厂并非只是简单地在生产线上安装机器人，然后就称之为“工业4.0”。实际上，关键在于如何有效控制热量。
如果仍然依赖传统的电阻式加热方式，那只会让事情变得更加复杂。我们发现，高效的红外线加热系统才是最佳选择。为什么呢？因为这种加热方式无需直接接触晶圆，从而避免了污染和机械应力带来的问题。这是实现大规模生产而不损坏设备的唯一方法。
距离与热量的平衡
问题在于：不能将红外线发射器直接贴在晶圆上。距离太近的话，会导致局部过热，进而使硅片变形。而距离太远的话，则会浪费能源，因为能量会被用来加热腔室壁。这需要找到一个合适的平衡点。我们需要根据晶圆能够承受的热量来计算出最佳距离。
通常，我们会选择短波红外线，因为它能快速升温。不过，这种方式会给冷却系统带来很大压力。如果不确保冷却系统能够有效处理反射的辐射，那么传感器和线路就会受损。这显然不是谁愿意面对的问题。
实现智能化操作（避免麻烦）
在现代生产线中，简单的“设置后不管”的做法只会带来灾难性后果。我们会将这些红外线加热系统与闭环PID控制器及实时温度检测仪相连。这样，系统就能根据晶圆表面的实际情况，在几毫秒内调整加热功率。
最棒的是，所有的加热数据都可以被记录下来。如果某批产品出现质量问题，无需猜测原因，只需查看温度曲线即可。此外，我们的设计也是模块化的，因此当需要提高生产效率时，只需更换发射器阵列即可，无需拆解整个真空腔体。
权衡利弊
高功率的红外线发射器虽然能提供极高的热量密度，但这也带来了相应的代价。它会对电源及石英外壳造成很大压力。因此，需要非常稳定的电压。一旦电压出现波动，哪怕是很小的波动，也会导致晶圆表面出现微小的温度变化。虽然听起来微不足道，但在这个行业里，细节往往就是最大的问题所在。