在用化学试剂清洗MEMS传感器晶圆之后，需要用高温来将其烘干。但问题在于：如果在易燃溶剂附近进行这种操作，那就很容易引发爆炸。这真是令人担忧的情况。
因此，我们使用专门的红外灯。这类灯具就是为应对这种危险环境而设计的，这样就能在不引发灾难的情况下完成烘干工作。
确保密封性 大多数红外灯的电气触点都是暴露在外面的。在制造厂里，这很容易导致火花产生。我们不会这么做。相反，我们会用石英或耐化学腐蚀的玻璃来包裹加热元件。
此外，我们还会使用高品质的密封材料以及密封连接器。这样一来，那些有害的化学蒸汽就无法接触到带电的端子，从而避免因腐蚀性气体而导致的电路损坏。不必每隔几个月就更换电缆，这真是件好事。
控制合适的温度 这些红外线灯利用短波辐射来快速烘干晶圆。速度非常快。我们会仔细调整功率，以确保溶剂能够迅速蒸发，同时不会让晶圆基板过热。这样一来，整个晶圆表面就能保持均匀的温度。不过需要注意的是，高功率的红外灯会散发出大量热量。因此，必须确保通风系统良好，否则设备外壳可能会变得过热。
实际应用中的可靠性 这些灯具是为全天候运转而设计的。所有的密封部位都会经过严格测试，以确保它们不会因为时间推移而出现泄漏或损坏。
一旦将这些灯具安装好，由于其密封设计，就无需担心蒸汽侵入的问题，可以专注于提升生产效率。对我们来说，密封性才是最重要的。如果灯具无法正常工作，那么再高的功率也没有意义。
当然，这种设计也有其缺点：由于有密封结构，这类灯具的升温速度会比开放式灯具稍慢一些。不过，在充满易燃化学品的房间里，这样的牺牲是值得的。因为只有这样，才能确保工厂的安全。