在晶圆加工设备中正确运用热成像技术 如果您希望实现更智能的工厂运作，那么您肯定已经意识到，传统的接触式温度计已不再适用。它们反应速度太慢，而且，直接接触晶圆其实存在很大的风险。 因此，我们转而使用高速红外传感器。这样，我们就可以在不接触晶圆表面的情况下获得实时的温度分布图。无需担心污染或机械应力问...

在检测过程中，0.5°C的温差就足以决定一个晶圆是否合格。晶圆的温度会影响信号的质量、背景噪声，进而决定光阻在镜头下的表现。如果加热器无法维持稳定的温度，那么不仅会导致产品合格率下降，还会打乱整个生产计划。 我们在加热器中采用了什么技术？ 我们选用了短波红外元件以及石英基材料构成的散热结构，以此确...