标签为“MEMS”的页面如下 MEMS传感器晶圆干燥加热器 在用化学试剂清洗MEMS传感器晶圆之后,需要用高温来将其烘干。但问题在于:如果在易燃溶剂附近进行这种操作,那就很容易引发爆炸。这真是令人担忧的情况。 因此,我们使用专门的红外灯。这类灯具就是为应对这种危险环境而设计的,这样就能在不引发灾难的情况下完成烘干工作。 确保密封性 大多数红外灯的电气触点都... Read more...
MEMS传感器晶圆干燥加热器 在用化学试剂清洗MEMS传感器晶圆之后,需要用高温来将其烘干。但问题在于:如果在易燃溶剂附近进行这种操作,那就很容易引发爆炸。这真是令人担忧的情况。 因此,我们使用专门的红外灯。这类灯具就是为应对这种危险环境而设计的,这样就能在不引发灾难的情况下完成烘干工作。 确保密封性 大多数红外灯的电气触点都... Read more...