クラス100のクリーンルームを本当に清潔な状態に保つために
もしあなたがクラス100のクリーンルームを運営しているなら、その重要性はよくわかっているでしょう。ほんのわずかなほこりや金属片でも、すべてを台無しにしてしまいます。半導体の加熱に関して言えば、問題は通常、加熱素子から始まります。これが、全体の汚染源となっているのです。
私たちは、その問題を解決する方法を見つけました。高純度の石英赤外線ランプと特殊なテフロン（PTFE）製の配線を組み合わせることで、ガスの放出や粒子の発生を防ぐことができます。
石英の重要性
私たちは普通の石英を使用しません。それでは十分に清潔ではありません。高温下では、安価な石英から不純物が溶出してしまい、それがウェーハに付着すると、多くの材料が無駄になってしまいます。
その代わりに、合成された高純度の石英を使用します。このランプは短波長の赤外線を利用しているため、エネルギーが直接基板に届きます。周囲の空気が温まらないため、クリーンルームの温度も安定した状態を維持できます。
配線の問題点
配線に関して言えば、PVCやシリコンは高温環境では使えません。一定の温度に達すると、揮発性有機化合物（VOCs）が放出されてしまいます。これは真空チャンバーでは望ましくありません。
だからこそ、PTFE製の被覆を使用します。PTFEは化学的に安定しており、溶融したり剥がれたりすることはありません。また、石英管から放たれる高温にも耐えられます。これにより、安定した電気接続が実現されます。
注意すべき点
完璧なものは存在しません。何かしらの妥協点があります。
PTFEはシリコンよりも硬いため、曲げすぎると配線に負荷がかかります。ケーブルには十分な余裕を持たせる必要があります。
また、これらのランプは大量の熱を発生させるため、適切な冷却装置が必要です。もしランプの端が過度に熱くなると、シール部分が壊れてしまいます。どんなに良い配線を使っても、シール部分が壊れてしまえば意味がありません。
私たちは、既存のヒーターに簡単に取り替えられるように設計しました。最も重要なのは純度です。なぜなら、あなたの世界では、それこそが最も重要だからです。