熱の無駄遣いをやめよう：なぜ金コーティングされたIR素子が最適なのか
グローブボックス内でウェーハを加熱したことがある人なら、その手間苦労がわかるでしょう。ランプに電力を供給しても、そのエネルギーの大部分が無駄に消費されてしまいます。エネルギーはチャンバーの壁に当たり、加熱する必要のない空気を温めてしまうのです。
通常のIRランプは、あらゆる方向に熱を放出します。つまり、高価な電力の半分が不要な方向に行ってしまうのです。
私たちは、これを簡単な方法で解決しました。それは、クォーツケースの裏側に薄い金の膜を塗るというものです。
なぜ金なのか？
金は赤外線を反射する能力に優れており、その反射率は98％以上です。素子の裏側を金でコーティングすることで、ランプを熱を集中させるためのスポットライトのように利用できるのです。
光ではなく、ビームとして熱が発生します。エネルギーは直接ウェーハに届きます。その結果、電力代を増やすことなく、より高い熱密度を得ることができます。また、グローブボックス内の温度も下がり、全員にとって利点です。
熱に関する注意点
エネルギーを一点に集中させるため、状況は非常に過酷になります。立ち上がり時間は速いですが、それによってランプの電極に大きな負荷がかかります。
ですから、冷却ファンが正常に動作しているかを確認する必要があります。もし端子が過度に熱くなってしまうと、フィラメントが壊れる前にコネクタが壊れてしまいます。空気の流れを確認しておけば、後で面倒なトラブルを避けることができます。
設置方法
装置全体を再構築する必要はありません。これらは既存のIR装置にそのまま取り付けられます。
工業用のコネクタを使用しているのは、緩んだ接続が問題を引き起こすからです。しっかりとした接続により、電圧降下や端子でのアーク現象が発生しません。とても簡単に使えます。
最良の点は、ウェーハ上で即座に違いが分かることです。「エッジ効果」がほとんどなくなります。もう中心部が熱くなり、端が冷たくなるという問題はありません。新しい電源を用意することなく、より効率的に目標温度に到達できます。