ファブを安全に保つために（熱を失わずに）
半導体クリーンルームを運営している方なら、その厳しさはよくご存知でしょう。そこには可燃性の溶剤が使われているため、化学的な危険が常に存在します。このような環境では、一般的なIRランプを使用するのは非常に危険です。ちょっとした火花や高温の表面が化学物質に触れるだけで、大惨事につながります。
私たちはより良い方法を考え出しました。単なる電球を使う代わりに、専用の密閉型ケースの中にランプを収めています。
実際にどのようにして危険を防いでいるか
単にランプをプラスチックで覆うだけでは不十分です。そんな方法ではうまくいきません。私たちは二重のシール構造を採用しています。石英製の加熱要素は、強力な化学物質にも耐えられる頑丈な外殻の中にあります。
本当の秘密は、端の部分にあります。高温用のガスケットを使って、すべてをしっかりと密封しています。これにより、揮発性有機化合物が電気端子に入り込むのを防ぎます。加熱要素を周囲の空気から完全に分離することで、「点火源」を排除します。これにより、安心して作業できます。
熱の問題への対処
安全性は確保されていますが、それでもウェハを加熱する必要があります。
私たちは短波長のIRエミッターを使用しているため、エネルギーが直接化学液やウェハの表面を通過します。しかし、この方法ではシール部分に大きな負荷がかかります。
そのため、ガスケットは絶え間ない加熱や冷却に耐えられるように設計されています。もしシールが壊れてしまうと、ランプは使えなくなります。ですから、定期的にメンテナンスを行い、ガスケットが完全に密閉されているかを確認する必要があります。これは省略できない作業です。
導入の仕方
良いことに、これらのランプはそのまま交換可能です。全ての装置を再構築する必要はありません。私たちは防爆仕様の配線や強化されたコネクタを使用して、アークが発生しないようにしています。
ただ一点、注意点があります。その追加の保護層が少し邪魔になることがあります。放射効率がわずかに低下する可能性があります。
これを解決するには、ランプをもう少し近づけたり、ワット数を上げて、必要な加熱時間を維持する必要があります。これは小さな犠牲ですが、施設が爆発の危険にさらされないという安心感を得ることができます。