क्लास 100 स्तरीय क्लीनरूम को हमेशा साफ रखना
जब आप सेमीकंडक्टर वेफरों को गर्म कर रहे होते हैं, तो तापमान नियंत्रण ही पर्याप्त नहीं होता। क्लास 100 स्तरीय वातावरण में, थोड़ी सी धूल भी पूरे चिप सेट को नष्ट कर सकती है। यह वाकई एक बड़ी समस्या है। इसीलिए हमने धातु-आवरित हीटरों का उपयोग बंद कर दिया – क्योंकि ऐसे हीटरों से बहुत अधिक गैसें निकलती हैं। इसके बजाय हमने उच्च-शुद्धता वाले क्वार्ट्ज इन्फ्रारेड लैंपों का उपयोग किया।
क्यों क्वार्ट्ज?
हमने सिंथेटिक फ्यूज्ड सिलिका का उपयोग किया, क्योंकि यह अधिक मजबूत होता है। सामान्य काँच गर्म होने पर टूटने लगता है, लेकिन क्वार्ट्ज स्थिर रहता है। इन्फ्रारेड विकिरण क्वार्ट्ज से होकर सीधे सब्सट्रेट तक पहुँच जाता है; कोई धूल या अन्य कण वेफर पर नहीं गिरते।
इन लैंपों को अपने सिस्टम में लगाना
हमने इन लैंपों से ऐसी सभी चीजों को हटा दिया, जिनसे वे टूट सकते थे। हमारा लक्ष्य था कि इन लैंपों से कोई प्रदूषण न हो। हमने उच्च-गुणवत्ता वाले क्वार्ट्ज सीलों का उपयोग किया, ताकि आंतरिक हैलोजन चक्र से कोई गैस बाहर न निकले।
लेकिन सावधान रहें…
आपको ऊर्जा घनत्व के मामले में सावधान रहना होगा। ऐसे लैंप बहुत ही छोटे स्थान में बहुत गर्म हो जाते हैं। यदि आप उचित शीतलन व्यवस्था के बिना ही ऊर्जा की मात्रा बढ़ा देते हैं, तो समस्याएँ हो सकती हैं। यदि गर्म केंद्र एवं ठंडे टर्मिनलों के बीच का तापमान अंतर बहुत अधिक हो जाता है, तो क्वार्ट्ज टूट सकता है।
इन लैंपों का उपयोग
ऐसे लैंप एनीलिंग एवं क्यूरिंग प्रक्रियाओं में बहुत ही उपयोगी हैं… क्योंकि पारंपरिक हीटर ऐसी प्रक्रियाओं में काम नहीं कर पाते। चूँकि ऐसे लैंपों में कोई भौतिक संपर्क नहीं होता, इसलिए आपको अपने उपकरणों के खराब होने की चिंता नहीं करनी पड़ती।
सेटअप करना आसान है…
बस इन लैंपों को अपने PID कंट्रोलर से जोड़ दें… फिर आपको कोई समस्या नहीं होगी। आपको पता चलेगा कि इन लैंपों से तापमान बहुत जल्दी ही बढ़ जाता है… और तापमान स्थिर रहता है।
एक अंतिम सलाह…
अपने पावर सप्लाई पर ध्यान दें… यह स्थिर होना आवश्यक है। अचानक आने वाला वोल्टेज स्पाइक, उच्च-शुद्धता वाले लैंपों में फिलामेंट को जल्दी ही नष्ट कर सकता है… जबकि सस्ते औद्योगिक लैंपों में ऐसा नहीं होता।