क्लास 100 क्लीनरूम को हमेशा स्वच्छ रखना
यदि आप क्लास 100 क्लीनरूम चला रहे हैं, तो आपको पता ही होगा कि वहाँ थोड़ी सी भी धूल या धातु के कण ही सब कुछ बर्बाद कर सकते हैं। सेमीकंडक्टरों के निर्माण में, हीटिंग एलिमेंट ही सबसे बड़ी समस्या का कारण होता है; यही पूरी सुविधा में सबसे बड़ा स्रोत ऑक्सीडेशन है।
हमने इस समस्या का समाधान ढूँढ लिया है। उच्च-शुद्धता वाले क्वार्ट्ज इन्फ्रारेड लैंपों को विशेष Teflon (PTFE) तारों के साथ जोड़कर, हमने गैसों एवं धातु के कणों के निकलने की समस्या को दूर कर दिया है।
क्वार्ट्ज क्यों महत्वपूर्ण है?
हम सामान्य क्वार्ट्ज का उपयोग नहीं करते; क्योंकि वह पर्याप्त रूप से शुद्ध नहीं होता। उच्च तापमान पर, सस्ते क्वार्ट्ज से अशुद्धियाँ निकल सकती हैं, और यदि ऐसी अशुद्धियाँ वेफरों पर पहुँच जाएँ, तो बहुत सारा सामग्री बर्बाद हो जाती है।
इसके बजाय, हम सिंथेटिक, उच्च-शुद्धता वाले क्वार्ट्ज का उपयोग करते हैं। ऐसे लैंप शॉर्टवेव इन्फ्रारेड विकिरण का उपयोग करते हैं; इससे ऊर्जा सीधे सब्सट्रेट तक पहुँचती है। इससे आसपास की हवा गर्म नहीं होती, इसलिए क्लीनरूम में तापमान स्थिर एवं आरामदायक रहता है।
तारों का महत्व
उच्च तापमान वाले क्षेत्रों में PVC या सिलिकॉन तारों का उपयोग उपयुक्त नहीं है। ऐसे तार अपनी सीमा तक पहुँचने के बाद वोलेटाइल ऑर्गेनिक कंपाउंड्स छोड़ने लगते हैं… जो वैक्यूम चैंबर में बिल्कुल भी उचित नहीं है।
इसीलिए हम PTFE (टेफलॉन) जैकेटों का उपयोग करते हैं। यह रासायनिक रूप से निष्क्रिय है… यह न तो पिघलता है, न ही टूटता है… और न ही क्वार्ट्ज ट्यूब से निकलने वाली तीव्र गर्मी से प्रभावित होता है। इससे बिजली कनेक्शन मजबूत एवं स्वच्छ रहता है।
कुछ बातें ध्यान में रखने योग्य
कुछ भी परफेक्ट नहीं होता… कुछ समझौते तो हमेशा ही होते हैं।
PTFE, सिलिकॉन की तुलना में थोड़ा कठोर होता है… इसे तीव्र मोड़ देना संभव नहीं है… इसलिए तारों को थोड़ी जगह देनी होती है… अर्थात् तारों का मोड़ थोड़ा चौड़ा होना चाहिए।
इसके अलावा, चूँकि ऐसे लैंपों से बहुत अधिक गर्मी निकलती है, इसलिए कूलिंग सिस्टम को ठीक से व्यवस्थित करना आवश्यक है… यदि लैंपों के छोर बहुत गर्म हो जाएँ, तो सीलिंग टूट सकती है… चाहे तार कितना भी अच्छा क्यों न हो।
हमने इन लैंपों को आपके मौजूदा हीटरों का सरल विकल्प के रूप में डिज़ाइन किया है… हमने सबसे पहले शुद्धता पर ही ध्यान दिया… क्योंकि आपकी दुनिया में यही सबसे महत्वपूर्ण है।