हमने क्लीनरूम में इन्फ्रारेड तकनीक का उपयोग क्यों किया?
जब आप सेमीकंडक्टर निर्माण कार्य में काम करते हैं, तो “स्वच्छता” केवल एक लक्ष्य ही नहीं है – यह तो सब कुछ है। वेफर पर थोड़ी भी धूल या अवशेष होने से काम खराब हो सकता है।
लंबे समय तक, ऐसे कार्यों हेतु कन्वेक्शन ओवनों का ही उपयोग किया जाता रहा। लेकिन इन ओवनों में गर्म हवा ही इस्तेमाल की जाती है। ऐसी हवा में कण होते हैं, और ऐसे विशाल धातुई बॉक्सों को गर्म रखने हेतु बहुत अधिक ऊर्जा की आवश्यकता होती है।
इसी कारण हमने इन्फ्रारेड हीटरों का उपयोग शुरू किया। इन्फ्रारेड हीटर, हवा को गर्म करने के बजाय सीधे सामग्री पर ही ऊर्जा भेजते हैं।
यह वास्तव में कैसे काम करता है?
इसे ठंडे दिन में धूप में खड़े होने जैसा ही समझें। आपको पहले हवा गर्म होने का एहसास नहीं होता; बल्कि गर्मी सीधे आपकी त्वचा पर ही पड़ती है। ठीक यही बात यहाँ भी होती है। विकिरण सामग्री पर पड़ता है, जिससे अणु कंपन करने लगते हैं, और तुरंत ही गर्मी पैदा हो जाती है।
यह बहुत ही तेज़ तरीका है।
चूँकि हम वेफर पर गर्म हवा नहीं भेज रहे हैं, इसलिए हमें क्रॉस-कंटामिनेशन की चिंता भी नहीं करनी पड़ती। इसके अलावा, यह पर्यावरण के लिए भी बेहतर है। हमने उन पुरानी ईंधन-आधारित प्रणालियों का उपयोग बंद कर दिया, क्योंकि वे हानिकारक VOC गैसें उत्पन्न करती थीं… जिससे पर्यावरणीय निरीक्षण भी आसान हो गए।
कुछ चुनौतियाँ…
हम आमतौर पर शॉर्ट-वेव या मीडियम-वेव इन्फ्रारेड लैंपों का ही उपयोग करते हैं। यदि आपको कुछ सेकंडों में ही फोटोरेसिस्ट या रेजिनों को सूखाना है, तो शॉर्ट-वेव लैंप ही सबसे अच्छा विकल्प है।
लेकिन ध्यान रखना आवश्यक है…
यदि आप बिना सोचे-समझे ही वॉटेज बढ़ा देंगे, तो वेफर पर “हॉट स्पॉट” बन जाएंगे… या फिर वेफर ही जल जाएगा। इसलिए लैंप एवं वेफर के बीच की दूरी को सही रखना आवश्यक है। हम PID कंट्रोलरों एवं सटीक सेंसरों का उपयोग करके इसे संतुलित रखते हैं… ताकि महंगे उत्पादों को नुकसान न पहुँचे।
व्यावसायिक दृष्टि से…
सबसे अच्छी बात यह है कि बिजली की लागत कम हो जाती है।
अब हमें खाली जगहों को गर्म करने हेतु बिजली बर्बाद नहीं करनी पड़ती… बल्कि वह ऊर्जा सीधे ही उत्पाद पर ही खर्च होती है।
यह पुरानी कन्वेक्शन प्रणालियों की तुलना में बहुत ही आसान विकल्प है। इससे जगह भी बचती है, ऊर्जा लागत भी कम हो जाती है… और वैश्विक आपूर्ति श्रृंखला के नियमों का भी पालन हो जाता है।