近红外 NIR 晶圆干燥机

在光刻车间，无论您的烘烤曲线是否已调校，生产线始终保持运行。软烘烤漂移表现为CD散射。硬烘烤的不均匀性会破坏图案的完整性，而晶圆则会因为每一个热控偏差而付出代价。 我们构建的系统及其重要性 我们围绕近红外辐射加热设计了NIR晶圆干燥器，调节能量直接传递到光刻胶和基板。其效果是在晶圆级别保持...