减少半导体加热过程中的碳排放——无需再犯愁
说实话，半导体制造过程中最大的问题就是热量控制。但要在保持精确温度的同时实现碳中和目标，实在是个难题。目前，我们仍然依赖传统的对流式加热方式，但这其实是一种效率低下的方法，就好比开着窗户来给房子供暖一样。
因此，我们开始采用镀金双管红外灯。听起来很复杂，但实际上原理很简单。
镀金层的妙处
普通的石英管会有能量泄漏的情况——热量会散失到空气中、墙壁上，或是任何非晶圆所在的位置。而通过在双管结构中加入镀金层，就相当于创造了一面镜子。这样，热量就不会四处散失，而是直接作用于需要加热的晶圆上。最棒的是，设备的外壳不会吸收这些多余的热量，这样一来，冷却系统就不必过度工作来应对这些热量。这样，大家都能受益。
为什么选择双管设计
我们选择双管设计，是因为它能在较小的空间内提供更大的表面积。实际上，这样做的好处是：你可以提高功率，而不用担心灯丝会烧坏。在洁净室里，速度至关重要。这种灯的升温速度非常快，这样你就不必浪费时间等待热量上升，可以更快地开始加工。
当然，也有缺点
虽然这些灯设计为可直接替代旧式灯具，但需要注意的是，镀金层的存在意味着它们具有很强的辐射性。如果时间控制有哪怕一点点误差，都可能导致晶圆被烧毁。因此，你需要调整PID控制器，以适应这种灯具的快速反应特性。
总的来说，这是一种解决碳排放问题的机械解决方案。通过集中热量并提高其吸收效率，我们可以减少不必要的能量消耗。每块晶圆所需的电能更少，房间内的热量也更低，而且设备的体积也会更小。