Làm thế nào để sử dụng công nghệ quang học nhiệt một cách hiệu quả trong các thiết bị chế tạo wafer
Nếu bạn muốn xây dựng một nhà máy sản xuất thông minh hơn, chắc hẳn bạn đã nhận ra rằng những chiếc nhiệt kế truyền thống không còn phù hợp nữa. Chúng hoạt động chậm, và việc chạm vào bề mặt wafer còn tiềm ẩn nhiều rủi ro.
Đó là lý do tại sao chúng tôi chuyển sang sử dụng các hệ thống quang học nhiệt tốc độ cao. Chúng cho phép chúng ta thu thập dữ liệu về nhiệt độ một cách tức thời, mà không cần chạm vào bề mặt wafer. Không có nguy cơ nhiễm bẩn, không có áp lực cơ học – chỉ có dữ liệu chính xác mà thôi.
Ngừng đoán mò, bắt đầu nhìn thấy thực tế
Trong sản xuất kỹ thuật số, điều quan trọng nhất chính là dòng dữ liệu. Chúng tôi kết nối các cảm biến quang học nhiệt trực tiếp vào hệ thống PLC hoặc SCADA, giúp chuyển đổi tín hiệu nhiệt thành dữ liệu kỹ thuật số ngay lập tức.
Điều tuyệt vời nhất là bạn có thể nhìn thấy bề mặt wafer thực sự. Với các cảm biến nhiệt thông thường, bạn chỉ có thể ước lượng nhiệt độ dựa trên nhiệt độ của bề mặt chứa wafer hoặc thành buồng sản xuất. Nhưng giờ đây, bạn có thể nhìn thấy mọi thứ một cách trực tiếp. Nếu có gì đó di chuyển trên bề mặt wafer, bạn sẽ biết ngay và có thể điều chỉnh các bộ phận làm nóng một cách nhanh chóng.
Giải quyết vấn đề “cửa sổ”
Buồng chân không là môi trường khắc nghiệt. Vấn đề lớn nhất thường là “hiệu ứng cửa sổ” – khiến các tín hiệu quang học bị chặn bởi lớp thủy tinh hoặc sapphire. Điều này gây phiền toái, nhưng chúng tôi đã tìm ra cách khắc phục. Chúng tôi điều chỉnh cảm biến sao cho chúng hoạt động ở các bước sóng phù hợp, giúp tín hiệu quang học có thể đi qua được những lớp vật liệu này.
Lưu ý: Hãy giữ cho đường truyền ánh sáng luôn sạch sẽ. Nếu có các chất cặn tích tụ trên bề mặt cửa sổ, dữ liệu thu được sẽ bị sai lệch. Đây là vấn đề đơn giản để khắc phục, nhưng nó lại quyết định liệu quá trình sản xuất có diễn ra suôn sẻ hay không.
Những ưu và nhược điểm
Ưu điểm lớn nhất là việc loại bỏ những thiết bị đo nhiệt cồng kềnh, giúp tiết kiệm không gian trong buồng sản xuất. Nhưng cũng có nhược điểm: các cảm biến quang học nhiệt tốc độ cao tạo ra rất nhiều dữ liệu. Nếu bạn sử dụng chúng trong toàn bộ hệ thống sản xuất, hãy đảm bảo rằng mạng lưới của bạn có khả năng xử lý lượng dữ liệu đó. Nếu dữ liệu bị chậm trễ, quá trình sản xuất cũng sẽ bị ảnh hưởng. Trong quy trình sản xuất ở cấp độ cao, mỗi miligiây chậm trễ đều là điều không thể chấp nhận được.