Trong quy trình sản xuất, bạn biết đấy, mọi thứ đều phải được kiểm soát chính xác. Chỉ cần nhiệt độ thay đổi 1°C trong quá trình nung, kích thước của các chi tiết trên wafer có thể thay đổi vài nanomet. Điều này đủ để làm hỏng hàng giờ làm việc trong quy trình sản xuất. Việc làm nóng wafer không chỉ đơn thuần là làm cho nó nóng lên – mà còn phải đảm bảo sự kiểm soát chính xác và đồng đều, sao cho nhiệt độ ở mỗi lớp trên wafer vẫn được duy trì ổn định.
Những yếu tố quan trọng khi làm nóng wafer Chúng tôi sử dụng đèn làm nóng wafer dựa trên công nghệ bức xạ hồng ngoại tần số cao. Loại đèn này giúp truyền nhiệt trực tiếp lên bề mặt wafer một cách nhanh chóng và hiệu quả. Hệ thống này giữ cho nhiệt độ trên wafer ở mức ±0.1°C trong suốt quá trình nung, và độ ổn định của nhiệt độ cũng ở mức trên ±0.05°C. Môi trường làm việc cũng được kiểm soát chặt chẽ: vật liệu được sử dụng phải đáp ứng tiêu chuẩn Class 1–100, các linh kiện phải có khả năng giảm thiểu khí thải, và buồng làm việc phải đảm bảo rằng lượng hạt bụi không vượt quá 0.1 hạt/cm² ở kích thước 0.1 μm. Việc duy trì môi trường không có hạt bụi rất quan trọng, đặc biệt trong quá trình nung, vì bụi bẩn có thể gây ra những tổn hại vĩnh viễn cho wafer.
Tại sao điều này lại quan trọng trong quy trình sản xuất chip và đóng gói Trong quy trình sản xuất chip, sự chính xác này giúp đảm bảo dòng chảy của hóa chất phủ bề mặt wafer diễn ra đều đặn, đồng thời kiểm soát tốt việc loại bỏ dung môi. Kết quả là các mép của wafer sẽ sắc nét hơn và ít khi xảy ra lỗi hơn. Điều này giúp kiểm soát chính xác kích thước của wafer, giảm thiểu việc phải làm lại sản phẩm, và giúp quy trình nung diễn ra ổn định từ lần này sang lần khác. Ngoài ra, việc sử dụng công nghệ hồng ngoại còn giúp giảm mức tiêu thụ năng lượng, vì nó truyền nhiệt trực tiếp lên wafer thay vì lãng phí thời gian để làm nóng toàn bộ buồng làm việc. Đèn này có thể hoạt động liên tục trong hơn 5.000 giờ, với độ suy giảm cường độ ánh sáng dưới 5%. Trong quy trình đóng gói, sự ổn định này cũng giúp bảo vệ các cấu trúc nhạy cảm và giảm lượng sản phẩm hỏng.
Những điều cần lưu ý khi lắp đặt Khi lắp đặt, cần có nguồn điện 24 VDC riêng biệt, cùng với hệ thống giữ đèn ổn định để đảm bảo độ chính xác trong việc căn chỉnh ánh sáng. Đèn này có thể hoạt động với các kẹp wafer thông thường có kích thước 6/8/12 inch, và cũng tương thích với các giao diện theo tiêu chuẩn SEMI. Tuy nhiên, nếu bạn muốn tích hợp đèn này vào các lò nung cũ, bạn có thể cần phải sử dụng giá đỡ tùy chỉnh. Việc cài đặt đèn rất nhanh chóng – chỉ cần điều chỉnh độ phản xạ ánh sáng và thời gian hoạt động phù hợp với loại hóa chất phủ bề mặt wafer mà bạn sử dụng. Một khi đã được cài đặt đúng cách, quy trình sản xuất sẽ diễn ra ổn định. Trong ngành sản xuất chip, sự ổn định chính là yếu tố quan trọng nhất.