Trong khu vực lắp ráp bằng phương pháp in khắc, các lớp polyimide chính là yếu tố giúp gắn kết các thành phần điện tử lại với nhau. Chỉ cần có sự thay đổi nhiệt độ nhỏ trong quá trình xử lý nhiệt, toàn bộ hệ thống có thể bị hỏng. Chúng tôi đã thiết kế hệ thống kiểm soát nhiệt độ dành riêng cho việc xử lý polyimide, nhằm loại bỏ rủi ro này.
Những yếu tố quan trọng Chúng tôi duy trì mức độ đồng đều về nhiệt độ ở mức ±0,1°C trên toàn bộ bề mặt wafer, từ giai đoạn xử lý nhiệt nhẹ cho đến giai đoạn xử lý nhiệt cuối cùng. Các thiết bị sưởi ấm bằng tia hồng ngoại ngắn bổ sung nhiệt cho wafer, chứ không phải cho toàn bộ buồng xử lý. Nhờ đó, số lượng hạt bụi trong buồng xử lý luôn ở mức dưới 0,1 hạt/m³, trong khoảng tiêu chuẩn Class 1–100. Độ chính xác trong việc xử lý nhiệt độ là ±0,5°C, nhờ đó mỗi lần xử lý đều cho kết quả tương tự nhau.
Các tấm sưởi được làm từ sợi carbon có khả năng tăng nhiệt độ nhanh mà không gây ra hiện tượng nhiệt độ không đồng đều. Hệ thống còn ghi lại thông tin về mỗi chu kỳ xử lý, giúp dễ dàng theo dõi quá trình xử lý.
Tại sao phương pháp này hiệu quả trong thực tế? Quá trình xử lý polyimide đòi hỏi phải cân bằng giữa yếu tố nhiệt độ và tính ổn định hóa học của vật liệu. Hệ thống kiểm soát nhiệt độ của chúng tôi giúp duy trì nhiệt độ trong phạm vi cho phép – không bị xử lý chưa đủ mà gây ra hiện tượng tách rời các thành phần điện tử, cũng không bị xử lý quá mức dẫn đến việc khí độc thoát ra ngoài. Kết quả là ít phải làm lại công việc hơn, giảm lượng vật liệu thải, và quy trình sản xuất diễn ra liên tục 24/7.
Chi phí năng lượng cũng giảm xuống vì hệ thống có khả năng ngưng hoạt động khi không cần sử dụng, đồng thời có khả năng tăng nhiệt độ nhanh. Nhờ đó, chi phí sử dụng năng lượng được giảm mà không ảnh hưởng đến thời gian xử lý.
Những điều cần lưu ý khi lập kế hoạch Hệ thống này có thể được tích hợp vào các dây chuyền sản xuất hiện có, nhưng bạn cần có nguồn điện 208 V, 3 pha, cùng hệ thống thông gió đạt tiêu chuẩn buồng sạch. Bạn cần dành 4 giờ để lắp đặt và 1 ngày để đào tạo nhân viên vận hành.
Các tấm sưởi không chịu được va chạm cơ học trong quá trình thay đổi thiết lập, vì vậy hãy tuân thủ đúng trình tự tháo lắp được ghi trong hướng dẫn sử dụng. Việc siết chặt quá mức một chi tiết có thể làm thay đổi mức độ đồng đều về nhiệt độ lên đến 0,2°C.