Thermische beelden op de juiste manier verkrijgen met uw wafergereedschappen
Als u streeft naar een slimmere productieomgeving, heeft u vast al gemerkt dat traditionele contactthermometers niet meer voldoen. Ze zijn traag. En eerlijk gezegd: het is risicovol om de wafer aan te raken.
Daarom hebben we overgestapt op hoge-snelheids-infraroodsystemen. Hierdoor kunnen we in real time thermische kaarten maken, zonder de oppervlakte van de wafer aan te raken. Geen vervuiling, geen mechanische belasting – alleen maar nauwkeurige gegevens.
Stoppen met gissen en echt zien
In de digitale productie draait alles om gegevensstromen. We connecteren de IR-sensoren rechtstreeks aan uw PLC- of SCADA-systeem, zodat warmtestraling onmiddellijk omgezet wordt in digitale signalen.
Het beste van alles is dat u nu eindelijk de echte oppervlakte van de wafer kunt zien. Met thermokoppels moet u vaak raden op basis van de temperatuur van het onderwerp of de wanden van de kamer. Nu heeft u een direct zicht op de oppervlakte. Als er iets zich op die 300mm grote oppervlakte bevindt, weet u dit meteen en kunt u de verwarmingselementen snel aanpassen.
Het probleem met de “ramen”
Vacuümkamers zijn zeer strenge omgevingen. Het grootste probleem is meestal het “raam-effect”: de kwarts- of saffiervensters blokkeren namelijk het infraroodsignaal.
Het is frustrerend, maar we hebben een oplossing gevonden. We kalibreren onze sensoren zodat ze specifieke golflengten gebruiken die door deze materialen heen gaan.
Let op: houd de optische weg schoon. Als er residuen op het raam achterblijven, zullen de metingen onnauwkeurig worden. Het is een simpele oplossing, maar het maakt wel verschil tussen een perfect proces en verspilde wafer.
De nadelen
Het voordeel is enorm voor het ontwerp van uw gereedschappen. U hoeft die omvangrijke sondes niet meer te gebruiken, waardoor er meer ruimte beschikbaar komt in de kamer. Het ziet er veel efficiënter uit.
Maar er is ook een nadeel: hoge-resolutie IR-sensoren leveren veel gegevens op. Als u dit gebruikt in een hele reeks gereedschappen, moet uw netwerk dit aankunnen. Als de gegevensverwerking te langzaam gaat, zal ook de PID-regeling te langzaam werken. En bij de productie van complexe chips kan elke milliseconde vertraging fataal zijn.