Op de productielijn is een temperatuurverschil van 0,1°C op het oppervlak van de wafer al voldoende om de controle over de dikte van de laag te verstoren. Tijdens het drogen van de fotorezyst doet het er niet toe wat de bedoeling is – de temperatuur moet precies blijven, anders kan er sprake zijn van fouten. Fouten komen snel tot uiting: resterende oplosmiddelen, oneffenheden op het oppervlak van de wafer. Hierdoor wordt de wafer als afval beschouwd.
Wat technisch gezien belangrijk is:
Wij hebben de droger zo ontworpen dat de temperatuur op het oppervlak van de wafer binnen ±0,1°C blijft. De verwarming vindt plaats met kortegolf-infraroodlicht, zodat de temperatuur snel en nauwkeurig kan worden geregeld. In schone ruimtes van klasse 1–100 is de geometrie van de kamer en de luchtcirculatie zo ingericht dat er zo min mogelijk turbulentie is en dat er geen deeltjes in de lucht terechtkomen. Hierdoor blijft het aantal deeltjes tijdens het drogen op nul. De nauwkeurigheid wordt bereikt door gebruik te maken van sensoren die continu de temperatuur meten. Hierdoor wordt elke keer dezelfde temperatuur behaald.
Waarom dit werkt in de litografie:
Bij litografie is de droger geen apart apparaat – hij maakt deel uit van het proces. Een constante temperatuur zorgt ervoor dat de dikte van de fotorezyst constant blijft en dat het oplosmiddel op een consistente manier wordt verwijderd. Dit bevordert de controle over de precisie van de afbeelding en verminderd de noodzaak tot herwerkingsprocessen. De constructie van de droger is geschikt voor gebruik in schone ruimtes, waardoor er geen deeltjes worden gegenereerd. Hierdoor blijft de kwaliteit van de wafer hoog. Het energieverbruik neemt ook af, dankzij de snelle opwarmtijd en minimale verliezen tijdens het wachten.
Wat je in gedachten moet houden:
Het apparaat is ontworpen om 24/7 te werken, maar het heeft nog steeds een schone, droge omgeving en een stabiele stroomvoorziening nodig om de controle nauwkeurig te houden. Plan van tevoren hoe de apparaten worden geïnstalleerd en hoe de afvoer van lucht wordt geregeld. Het is eenvoudig om het apparaat aan te sluiten op bestaande installaties, maar je moet de temperatuur voor elke set fotorezyst opnieuw controleren – verschillende materialen reageren anders, zelfs wanneer de temperatuur binnen de grenzen blijft.