In de lithografieafdeling zorgen de polyimidelagen er voor dat de geavanceerde verbindingen tussen de verschillende onderdelen op hun plek blijven. Eén foutieve temperatuur tijdens het verhitten kan al tot grote problemen leiden. We hebben ons eigen systeem ontwikkeld om dit risico te verminderen.
Wat belangrijk is
We behouden een temperatuuruniformiteit van ±0,1°C over het hele oppervlak van de wafer, van het begin tot het einde van het proces. De korte golflengte-infraroodstralen verwarmen alleen de wafer, niet de ruimte zelf. Hierdoor blijft het aantal deeltjes in de schone ruimte onder 0,1 per kubieke voet, in categorieën 1–100. De herhalbaarheid is ±0,5°C per keer dat het proces wordt uitgevoerd, zodat elke behandeling dezelfde resultaten oplevert als de vorige.
De verwarmingselementen die van kunststofvezels zijn gemaakt, werken snel en zonder warmtepunten. Het systeem registreert iedere cyclus, zodat alles goed te traceren is.
Waarom het in de praktijk werkt
Bij het verhitten van polyimide is het belangrijk om de thermische omstandigheden in balans te houden én de chemische stabiliteit te behouden. Ons controlemechanisme zorgt er namelijk voor dat de temperatuur zich binnen de veilige grenzen bevindt. Er vindt geen onvoldoende verhitting plaats, waardoor de onderdelen niet loskomen tijdens het etenproces. Er vindt ook geen oververhitting plaats, waardoor er geen gasontwikkeling optreedt. Het resultaat is minder herwerkingswerk, minder afval en een efficiënt proces dat 24/7 kan worden uitgevoerd.
De energieverbruik neemt af, omdat het systeem snel kan worden gekoeld en daarna weer snel kan worden opgewarmd. Hierdoor wordt de energiekosten verminderd, zonder dat de tijd die nodig is voor het proces verandert.
Wat je moet plannen
Het apparaat past zich gemakkelijk aan in bestaande productielijnen. Je hebt echter wel een aparte 208 V, driefasige stroomvoorziening en een afvoersysteem dat geschikt is voor een schone ruimte nodig. Reken op vier uur voor de inbedrijfstelling en één dag voor de opleiding van de operators.
De verwarmingselementen mogen geen mechanische schokken krijgen tijdens het wisselen van onderdelen. Houd je dus aan de instructies in het handboek. Eén te strak vastgemaakt element kan de temperatuuruniformiteit met 0,2°C veranderen.