Op de productielijn kan een wafer die net uit het eindproces komt, geen enkele hoeveelheid watermerken tolereren, zelfs niet één micrometer. Convectieovens proberen de temperatuurovergangen over het oppervlak van de wafer te beperken; elke poging om dit te bereiken heeft invloed op de kwaliteit van de producten. Infrarooddroging verandert deze situatie.
Wat technisch gezien echt belangrijk is
Infraroodstraling treft het water rechtstreeks, waardoor het oppervlak van de wafer wordt verwarmd, zonder dat er warmte in de lucht van de kamer wordt gepompt. Hierdoor wordt een thermische uniformiteit van ±0,1°C bereikt – geen problemen meer met de temperatuurverschillen tussen de randen en het midden van de wafer, zoals wel het geval is bij convectiesystemen. Kortegolfrugies stralen leveren snelle, gecontroleerde energie op, zodat er geschikte omstandigheden worden gecreëerd voor het drogen van de fotoresist. Mediumgolfrugies zijn geschikt wanneer je een hogere temperatuur nodig hebt, zonder dat dit tot ongewenste effecten leidt.
Het systeem is ontworpen voor gebruik in schoonruimten van klasse 1–100: er worden geen deeltjes gegenereerd, er worden geïsoleerde kwarts- of halogeenonderdelen gebruikt, en het ontwerp zorgt ervoor dat er geen ongewenste luchtbewegingen optreden. Herhaalbaarheid is geen slogan – dit blijkt uit de verschillen tussen opeenvolgende batches, die minder dan 0,3°C bedragen.
Waarom het geschikt is voor litografie en natte verwerkingsprocessen
In litografie en natte verwerkingsprocessen gaat het om de tijd die nodig is voor het proces en om het beheersen van defecten. Infrarooddroging droogt de wafers sneller, vereist minder energie per batch, en zorgt voor een groter procesbereik, omdat de temperatuur nauwkeurig wordt geregeld. Hierdoor krijg je consistente resultaten bij het drogen van de fotoresist, minder herwerkingen, en een stabiele thermische omgeving ongeacht het producttype.
Bovendien is het systeem ontworpen om het hele jaar door te werken – lange levensduur van de onderdelen en hoge herhaalbaarheid, zelfs na onderhoud. Er is geen onverwachte stilstand.
De praktische details die je in gedachten moet houden
Infrarooddroging kan worden geïntegreerd in bestaande productielijnen, maar je moet rekening houden met de warmtebelasting en de integratie van het systeem. Het apparaat is compact, maar je moet wel goed opletten bij de afvoer van warmte. De omgevingscondities en de stroomvoorziening spelen ook een rol; je moet hier van tevoren rekening mee houden.
Wij passen het systeem aan op je specifieke apparatuur en de eisen van je schoonruimte. We bepalen de juiste grootte van deverwarmer en het regelsysteem, in overeenstemming met de diameter en het productievermogen van je wafers. Je kunt rekenen op een kort inrichtingsproces, zodat de snelheden en tijden perfect kunnen worden aangepast aan je fotoresist.