Menggunakan Teknologi Imbasan Termal yang Betul pada Alat-Alat Pengeluaran Wafer
Jika anda ingin mencapai proses pengeluaran yang lebih efisien, anda pasti sudah menyedari bahawa termometer konvensional sudah tidak lagi sesuai digunakan. Ia beroperasi dengan perlahan. Lagipun, menyentuh permukaan wafer merupakan risiko yang tidak perlu diambil.
Itulah sebabnya kita beralih kepada sistem imbasan inframerah berkelajuan tinggi. Dengan cara ini, kita dapat memperoleh maklumat suhu secara masa nyata tanpa perlu menyentuh permukaan wafer. Tiada risiko pencemaran atau tekanan mekanikal – hanya data yang bersih sahaja.
Berhenti membuat tekaan, mulailah melihat secara langsung
Pengeluaran digital bergantung sepenuhnya pada aliran data. Kita boleh sambungkan sensor inframerah terus ke sistem PLC atau SCADA, supaya sinar haba dapat ditukarkan menjadi isyarat digital dengan cepat.
Yang paling baik ialah kita dapat melihat permukaan wafer secara langsung. Dengan menggunakan termokopel, kita sering harus membuat tekaan berdasarkan suhu permukaan susceptor atau dinding ruang pengeluaran. Sekarang, kita dapat melihat secara langsung apa yang berlaku pada permukaan wafer tersebut. Jika ada sesuatu yang bergerak di permukaan wafer sebesar 300mm itu, kita akan tahu segera dan dapat menyesuaikan elemen pemanasan dengan segera.
Menyelesaikan masalah “tetingkap”
Ruang vakum merupakan persekitaran yang sangat keras. Masalah utamanya ialah “kesan tetingkap” – di mana bahan seperti kuarza atau safir menghalang isyarat inframerah daripada sampai ke sensor.
Ia memang menyusahkan, tetapi kami telah menemukan cara untuk mengatasinya. Kami menyetel sensor agar dapat mengesan gelombang panjang tertentu yang dapat melewati bahan-bahan tersebut.
Perlu diingat: pastikan laluan optik sentiasa bersih. Jika terdapat sisa gas yang terkumpul pada permukaan tetingkap, bacaan suhu akan menjadi tidak tepat. Ini merupakan masalah yang mudah diselesaikan, tetapi ia boleh mempengaruhi kualiti pengeluaran wafer.
Kompromi yang perlu dipertimbangkan
Kelebihannya ialah reka bentuk alat pengeluaran menjadi lebih efisien. Kita tidak perlu menggunakan probe yang besar lagi, dan ruang di dalam ruang pengeluaran juga dapat dikurangkan. Namun, ada kelemahannya juga. Sensor inframerah berresolusi tinggi menghasilkan banyak data. Jika sistem rangkaian tidak mampu menangani jumlah data yang banyak ini, maka proses pengeluaran akan terganggu. Dalam pengeluaran node canggih, setiap milisaat kelewatan merupakan hal yang tidak boleh diterima.