Di ruang pemprosesan wafer, perbezaan suhu sebanyak 0.1°C pada permukaan wafer sudah cukup untuk merosakkan kawalan ketebalan lapisan photoresist. Semasa proses pembakaran photoresist, faktor suhu memainkan peranan penting; suhu harus dikawal dengan tepat, atau ia akan menyebabkan masalah seperti sisa pelarut, kehadiran zarah-zarah tertentu pada permukaan wafer, dan sebagainya. Semua ini akan menyebabkan wafer tersebut tidak boleh digunakan lagi.
Apa yang penting dari segi teknikal
Kami membina alat pengering wafer yang mampu mencapai tahap keseragaman suhu sebanyak ±0.1°C. Pemanas yang digunakan adalah jenis inframerah gelombang pendek, sehingga ia dapat bertindak dengan cepat dan secara lokal. Dengan cara ini, perubahan suhu dapat dikawal dengan baik, tanpa perlu menyesuaikan suhu setelah proses berlangsung. Di bilik bersih kelas 1–100, reka bentuk bilik dan aliran udara direka agar turbulensi dapat dikurangkan, serta untuk mengelakkan kehadiran zarah-zarah di dalamnya. Dengan adanya sistem kawalan berpusat yang menggunakan sensor yang telah dikalibrasi dengan teliti, profil suhu yang sama dapat dicapai setiap kali proses berlangsung.
Mengapa ia berkesan dalam proses litografi
Dalam proses litografi, alat pengering ini merupakan komponen penting dalam proses pembentukan corak pada wafer. Keseragaman suhu yang tinggi membantu menstabilkan ketebalan lapisan photoresist, serta memastikan penghapusan pelarut berjalan secara konsisten. Ini seterusnya membantu meningkatkan kawalan dimensi wafer dan mengurangkan keperluan untuk melakukan kerja semula. Reka bentuk alat ini yang sesuai untuk bilik bersih serta ketiadaan zarah-zarah di dalamnya membantu melindungi permukaan wafer daripada kerosakan. Hasilnya, terdapat lebih sedikit masalah, masa proses yang lebih boleh diramalkan, dan kadar pengeluaran yang stabil. Penggunaan tenaga juga berkurangan, kerana proses pemanasan berlaku dengan cepat, dan penggunaan tenaga semasa waktu tunggu juga diminimumkan.
Apa yang perlu diingat
Alat ini direka untuk beroperasi 24/7, tetapi ia masih memerlukan bekalan tenaga yang stabil dan bersih, serta voltan yang konsisten agar sistem kawalan dapat berfungsi dengan baik. Rancanglah cara pemasangan alat ini agar mudah untuk diservis dan pengudaraan berjalan dengan lancar. Walaupun penyambungan alat ini ke sistem sedia ada mudah dilakukan, namun profil suhu perlu dinilai semula untuk setiap jenis material yang digunakan. Bahan-bahan yang berbeza akan memberikan respons yang berbeza walaupun suhunya masih berada dalam julat yang ditetapkan.