Dalam bilik litografi ini, lapisan poliimida berperanan untuk menghubungkan komponen-komponen yang canggih tersebut. Jika suhu tidak dikawal dengan baik semasa proses pematangan poliimida, seluruh proses tersebut akan gagal. Kami telah membina sistem kawalan suhu khusus untuk mengelakkan risiko ini.
Apa yang penting dalam proses ini
Kami memastikan kestabilan suhu pada tahap ±0.1°C di seluruh permukaan wafer, dari awal hingga akhir proses pematangan. Unsur inframerah pendek digunakan untuk memanaskan wafer, bukan ruang pemprosesan itu sendiri. Dengan cara ini, jumlah zarah kotor di bilik bersih tetap di bawah 0.1 per kaki padu, sesuai dengan standard kelas 1–100. Ketepatan suhu adalah ±0.5°C setiap kali proses dilakukan, jadi hasilnya akan sama setiap kali.
Papan pemanas yang diperkuat dengan serat karbon dapat memanaskan wafer dengan cepat tanpa menyebabkan bahagian tertentu menjadi terlalu panas. Sistem ini juga merekod setiap kitaran proses untuk memudahkan pemantauan.
Mengapa ia berkesan dalam praktik
Proses pematangan poliimida memerlukan keseimbangan antara faktor suhu dan kestabilan kimia. Sistem kawalan kami memastikan suhu berada dalam lingkungan yang sesuai untuk pematangan poliimida—tanpa pematangan yang tidak lengkap yang boleh menyebabkan masalah semasa proses etching, dan tanpa pematangan yang berlebihan yang boleh menyebabkan gas terlepas. Hasilnya, kurangnya keperluan untuk melakukan kerja pembetulan, lebih sedikit bahan buangan, dan proses produksi yang lancar sepanjang hari.
Penggunaan tenaga berkurangan kerana sistem ini dapat beroperasi dalam keadaan sejuk dan memanaskan wafer dengan cepat, tanpa menjejaskan masa yang diperlukan untuk satu kitaran proses.
Apa yang perlu dirancang
Platform ini boleh digunakan bersama-sama dengan sistem pelapisan/waktu pengeluaran yang sedia ada, tetapi anda memerlukan bekalan kuasa 208 V, tiga fasa, serta sistem pengudaraan yang sesuai untuk bilik bersih. Luangkan masa empat jam untuk proses penyesuaian, dan satu hari penuh untuk latihan pengendali.
Papan pemanas tidak tahan terhadap goncangan mekanikal semasa proses pertukaran komponen. Oleh itu, ikutilah arahan yang diberikan dalam manual. Jika sebarang skru ditarik terlalu kuat, ia boleh menyebabkan perubahan suhu sebanyak 0.2°C.