화학물질이 위험해질 때 안전을 지키는 방법
솔직히 말해서, 청정실에서 반도체 제조 장비를 가열하는 것은 매우 위험한 작업입니다. 주변에 가연성 세정제가 있으니, 사고가 발생할 가능성도 높습니다. 아주 작은 스파크나, 잘못된 시점에 전등이 고장 나면 큰 재앙이 발생할 수 있습니다.
바로 이런 이유로 우리는 단순히 전등을 상자에 넣어두는 식으로 대처하지 않습니다. 우리는 적외선 히터에 특수한 ‘보호 장치’를 추가하여 설비가 화재에 휩싸이는 것을 방지합니다.
중요한 것은 밀폐성입니다.
우리는 그냥 석영관만 보내지 않습니다. 그건 너무 위험한 짓입니다. 대신, 적외선 소자를 화학물질에 강한 보호 커버로 감싸줍니다. 이 보호 커버는 가연성 기체가 전기 접점에 닿지 않도록 막아줍니다.
우리는 견고한 가스켓과 밀폐 장치를 사용하여 모든 부분이 완전히 밀폐되도록 합니다. 그래서 전등이 고장 나더라도 보호 커버가 그 손상을 막아줍니다. 외부의 화학물질은 밖에 남아 있고, 내부 부품들은 안전하게 보호됩니다. 간단한 방법이지만, 이것이야말로 밤에 편안하게 잠들 수 있는 유일한 방법입니다.
열을 잘 관리해야 합니다.
‘열점’이 생겨서는 안 됩니다. 만약 히터의 특정 부위가 너무 뜨거워지면, 주변의 가연성 기체가 폭발할 수 있습니다.
이를 방지하기 위해 우리는 와트수와 전압을 세심하게 조절합니다. 목표는 히터의 한쪽 끝에서 다른 쪽 끝까지 일정하고 균일한 열이 분포되도록 하는 것입니다. 참고로, 전원 공급 장치를 주의 깊게 확인해야 합니다. 전압이 급격히 변동하면 시간이 지나면서 밀폐 장치에 작은 균열이 생길 수 있습니다. 그러니 그런 상황은 피해야 합니다.
작업 흐름에 쉽게 통합됩니다.
우리는 이 제품들을 기존의 청정실 장비에 그대로 설치할 수 있도록 설계했습니다. 장비의 움직임을 방해하거나 공기 흐름을 망치지 않으면서도 잘 작동합니다.
한 가지 주의할 점은, 그 보호 커버 때문에 약간의 열 저항이 생긴다는 것입니다. 전등이 직접 노출되지 않기 때문에, 목표 온도에 도달하는 데 약간 더 시간이 걸릴 수 있습니다. 하지만 이는 작은 대가입니다. 분진 폭탄 속에서 작업하는 것보다는 훨씬 낫습니다.