반도체 청정실에서의 안전한 사용법 (열을 잃지 않으면서)
반도체 청정실을 운영하는 사람이라면 잘 알고 있겠지만, 그곳에는 인화성 용매가 들어 있는 화학적 세척 공정들이 있습니다. 이는 매우 위험한 환경입니다. 그런 곳에서 일반적인 IR 램프를 사용하는 것은 결국 문제를 초래할 뿐입니다. 작은 스파크나 뜨거운 표면이 화학물질과 접촉하면 큰 재앙이 발생할 수 있습니다.
우리는 더 나은 방법을 찾아냈습니다. 단순히 전구만 사용하는 대신, 모든 부품을 특수하게 설계된 밀폐형 케이스 안에 넣습니다.
실제로 어떻게 안전을 보장하는가?
우리는 단순히 램프를 플라스틱으로 감싸는 것만으로는 부족합니다. 그렇게 하면 안 됩니다. 우리는 2중 보호 구조를 사용합니다. 석영 가열 요소는 견고한 외부 케이스 안에 위치해 있어서 강한 화학물질로부터 보호됩니다.
진짜 비결은 램프의 끝부분에 있습니다. 우리는 고온에 견딜 수 있는 밀봉재를 사용하여 모든 것을 단단히 밀봉합니다. 이렇게 하면 휘발성 유기화합물(VOCs)이 전기 단자 쪽으로 들어오는 것을 막을 수 있습니다. 가열 요소를 주변 공기와 완전히 분리함으로써, ‘점화 원인’을 제거할 수 있습니다. 그러면 조금 더 안심할 수 있습니다.
열 문제 해결
안전성은 중요하지만, 여전히 웨이퍼를 가열할 필요가 있습니다.
우리는 단파 IR 방출기를 사용하여 에너지가 화학물질이나 웨이퍼 표면을 직접 통과하도록 합니다. 하지만 이 방식은 밀봉 부분에 상당한 부담을 줍니다.
우리는 밀봉재가 지속적인 가열과 냉각에도 깨지지 않도록 특별히 설계했습니다. 만약 밀봉이 파괴되면 램프는 망가집니다. 그래서 정기적인 점검이 필요합니다. 타협할 여지는 없습니다. 반드시 밀봉 상태를 확인하고, 문제가 없는지 확인한 후에 사용해야 합니다.
설치 방법
좋은 소식은 이 제품들이 그대로 교체 가능하다는 것입니다. 전체 시스템을 다시 설계할 필요는 없습니다. 우리는 폭발 방지용 배선과 강화된 접속기를 사용하여 아크 현상이 발생하지 않도록 합니다.
단, 한 가지 주의해야 할 점은, 추가적인 보호층 때문에 방사 효율이 약간 떨어질 수 있다는 것입니다. 이를 해결하기 위해 램프를 조금 더 가까이 배치하거나, 필요한 수준의 와트수를 높여야 할 수도 있습니다. 이는 약간의 희생입니다. 약간의 출력 손실이 있더라도, 시설이 폭발 위험에 처하지 않는다는 점에서 안심할 수 있습니다.