왜 팹에서는 적외선 가열이 공기 가열보다 더 효과적인가?
웨이퍼를 건조시키는 방법에 대해 알아보겠습니다. 기존의 방식들은 공기 순환을 이용합니다. 공기를 가열하여 웨이퍼를 따뜻하게 만든 뒤, 그대로 기다려야 합니다. 이 방식은 매우 느립니다.
고압 반도체 생산 환경에서는 이러한 대기 시간이 치명적입니다. 웨이퍼들은 건조실 안에 그대로 있으면서 수분이 그 위에 남아 있고, 생산 속도도 느려집니다. 이는 엄청난 시간 낭비입니다.
속도를 높이는 방법
적외선 가열은 다른 방식으로 작동합니다. 공기를 이용해 열을 전달하는 대신, 적외선은 전자기파를 직접 기판에 전달합니다. 마치 추운 날에 햇볕 아래 서 있는 것과 같습니다. 주변 공기가 매우 차가워도 즉시 따뜻함을 느낄 수 있습니다. 이것이 바로 복사열입니다. 에어컨이 방 전체를 따뜻하게 하는 동안 기다릴 필요가 없습니다. 직접 기판의 분자들을 가열하기 때문입니다. 매우 빠릅니다. 그리고 이는 작업 흐름에 큰 변화를 가져옵니다.
공간 절약 및 생산량 증가
적외선 가열을 사용하면 공간을 절약할 수 있습니다. 공기 오븐은 부피가 커서, 온도를 일정하게 유지하기 위해 많은 공기와 복잡한 배관이 필요합니다. 반면 적외선 램프는 다릅니다. 원하는 위치에 배열할 수 있으며, 클린룸의 공간을 더 이상 차지하지 않아도 됩니다. 처리 시간도 분에서 몇 초로 줄어듭니다.
단점
물론 적외선 가열도 모든 문제를 해결할 수는 없습니다. 너무 강력한 경우도 있습니다. 고강도 램프는 매우 작은 면적에서 많은 열을 발생시킵니다. 웨이퍼가 정확하게 배열되어 있지 않으면 실리콘에 과열이나 열응력이 생길 수 있습니다. 공기 가열은 그렇지 않지만, 적외선 가열은 그렇지 않습니다. PID 제어기와 거리 센서를 정확하게 조절해야 합니다. 그렇지 않으면 기판이 손상될 수 있습니다.
전환하기
팹을 업그레이드하고 싶다면 적외선 가열이 최선의 선택입니다. 가열 요소를 교체하고 복잡한 공기 흐름 제어 시스템을 없앨 수 있습니다. 게다가, 오븐 전체를 가열하는 데 드는 에너지도 절약됩니다. 실제로 열이 필요한 부분만 가열하면 됩니다. 간단합니다.