웨이퍼 처리 장비에서 정확한 열화상 데이터를 얻는 방법 더 스마트한 반도체 제조 공정을 추구한다면, 구식의 접촉형 온도계로는 더 이상 충분하지 않다는 것을 알고 있을 것입니다. 그런 도구들은 반응 속도가 느리며, 웨이퍼에 직접 손을 대는 것은 위험한 행동입니다. 그래...

검사 과정에서 0.5°C의 온도 변동은 제품이 검사를 통과하는지 아닌지를 결정하는 요소입니다. 웨이퍼의 온도는 신호의 형태를 결정하고, 배경값을 설정하며, 렌즈 아래에서 포토레지스트가 어떻게 반응할지를 결정합니다. 만약 히터가 온도를 일정하게 유지하지 못한다면, 단순...