클래스 100급 청정실을 항상 깨끗하게 유지하는 방법
만약 여러분이 클래스 100급 청정실을 운영하고 있다면, 그 어려움을 잘 알고 있을 것입니다. 아주 작은 먼지나 금속 조각 하나만으로도 모든 것이 망가질 수 있습니다. 반도체 가열과 관련해서는, 가열 요소가 문제의 원인이 되는 경우가 많습니다. 이 부분이 바로 전체 시스템에서 오염의 주된 원인입니다.
우리는 이 문제를 해결할 방법을 찾아냈습니다. 고순도 석영 적외선 램프와 특수한 Teflon(PTFE) 소재의 배선을 결합함으로써, 가스나 불순물의 발생을 막을 수 있습니다.
왜 석영이 중요한가?
우리는 일반적인 석영을 사용하지 않습니다. 그건 충분히 깨끗하지 않기 때문입니다. 고온에서는 저품질 석영에서 불순물이 배출될 수 있으며, 이 불순물들이 웨이퍼에 닿으면 많은 자원이 낭비됩니다.
대신, 우리는 합성된 고순도 석영을 사용합니다. 이 램프들은 단파 적외선을 사용하기 때문에 에너지가 직접 기판으로 전달됩니다. 주변 공기가 따뜻해지지 않아서 청정실의 온도가 안정적으로 유지됩니다.
배선에 대한 고려사항
배선과 관련해서는 PVC나 실리콘은 고온 환경에서는 적합하지 않습니다. 한계에 도달하면 휘발성 유기화합물(VOCs)이 방출됩니다. 이는 진공 상태에서는 절대 원치 않는 상황입니다.
그래서 우리는 PTFE(테플론) 소재의 외피를 사용합니다. 이 소재는 화학적으로 안정적이어서 녹거나 부서지지 않으며, 석영관에서 나오는 강한 열에도 영향을 받지 않습니다. 따라서 안정적이고 깨끗한 전기 연결이 가능합니다.
명심해야 할 몇 가지 사항
물론, 완벽한 것은 없습니다. 몇 가지 타협점이 있습니다. PTFE는 실리콘보다 조금 더 단단하기 때문에, 너무 세게 구부리면 배선에 스트레스가 가해집니다. 그러므로 케이블에 충분한 공간을 주어야 합니다.
또한, 이 램프들은 엄청난 양의 열을 발생시키므로, 적절한 냉각 시스템이 필요합니다. 램프의 끝부분이 너무 뜨거워지면 밀봉이 제대로 되지 않을 수 있습니다. 배선이 아무리 좋아도 밀봉이 제대로 되지 않으면 소용이 없습니다.
우리는 이 램프들을 기존의 가열기를 대체할 수 있는 간단한 제품으로 설계했습니다. 우리는 순도를 최우선으로 고려했습니다. 왜냐하면 여러분의 경우에는 순도가 가장 중요하기 때문입니다.