열을 낭비하지 마세요: 왜 금 코팅 처리된 IR 소자가 효과적인지
만약 가글박스 내부에서 웨이퍼를 가열해본 적이 있다면, 그 고충을 잘 알 것입니다. 램프에 에너지를 공급하지만, 그 에너지의 상당 부분이 그냥 사라져버립니다. 에너지는 챔버의 벽에 부딪혀서, 실제로 가열할 필요가 없는 공기를 따뜻하게 만들 뿐입니다.
일반적인 IR 램프는 모든 방향으로 열을 방출합니다. 즉, 비용이 많이 드는 에너지의 절반이 잘못된 방향으로 낭비된다는 뜻입니다.
우리는 이 문제를 아주 간단한 방법으로 해결했습니다. 바로 석영 커버의 뒷면에 얇은 금 층을 입히는 것입니다.
왜 금인가?
금은 적외선을 반사하는 데 매우 효과적입니다. 반사율은 98%가 넘습니다. 소자의 뒷면을 금으로 코팅함으로써, 램프를 열을 집중시키는 ‘스포트라이트’로 변화시킬 수 있습니다.
그 결과, 웨이퍼에 직접 열이 전달됩니다. 이렇게 하면 에너지 효율이 훨씬 높아집니다. 게다가 가글박스 내부의 온도도 낮아져서 모두에게 이점이 됩니다.
열에 대한 주의사항
에너지를 한 점에 집중시키기 때문에 온도가 매우 높아집니다. 가동 시간도 매우 빠르지만, 이로 인해 램프의 전극에 큰 부담이 가해집니다.
따라서 냉각 팬이 제대로 작동하는지 반드시 확인해야 합니다. 만약 연결부가 너무 뜨거워지면, 필라멘트가 고장나기 전에 연결부가 손상될 수 있습니다. 공기 흐름을 잘 확인하면 나중에 문제를 줄일 수 있습니다.
장비에 설치하는 방법
전체 장비를 다시 조립할 필요는 없습니다. 이 제품들은 기존의 IR 장비에 그대로 설치될 수 있도록 설계되었습니다.
우리는 산업용 등급의 커넥터를 사용합니다. 왜냐하면 느슨한 연결은 큰 문제를 일으킬 수 있기 때문입니다. 단단한 연결을 통해 전압 저하나 전극에서의 아크 현상을 방지할 수 있습니다. 그냥 잘 작동합니다.
가장 좋은 점은, 웨이퍼에서 즉시 차이를 느낄 수 있다는 것입니다. “가장자리 효과”가 거의 사라집니다. 더 이상 중앙은 뜨겁고 가장자리는 차가운 상황을 겪지 않아도 됩니다. 새로운 전원 공급 장치 없이도 목표 온도에 도달할 수 있는 더 효과적인 방법입니다.